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四川G-43D4型高精密單面光刻機(jī)

G-43D4型高精密單面光刻機(jī)產(chǎn)品介紹:設(shè)備概述: 本設(shè)備是我公司根據(jù)市場(chǎng)需求研發(fā)的產(chǎn)品,可以光刻Φ4"以下基片,對(duì)被光刻基片…

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G-43D4型高精密單面光刻機(jī)

一、設(shè)備概述

G—43D4型光刻機(jī)是根據(jù)高等學(xué)府需求研發(fā)的產(chǎn)品,可以做100X100mm以下基片,對(duì)被光刻基片的外形、厚度要求較低,可對(duì)多種材料的基片進(jìn)行光刻。它特別適用進(jìn)行一次光刻的產(chǎn)品,可制作聲表面器件、可控硅、小液晶顯示器、傳感器、二極管、園光柵、編碼盤等。按用戶要求可提供圓形承片臺(tái)或方形承片臺(tái),不管哪一種承片臺(tái),如果基片厚度≤2mm,承片臺(tái)都能實(shí)現(xiàn)“真空密著”曝光,加之光均勻性好,所以大大提高光刻質(zhì)量。

G-43部件圖

二、主要技術(shù)參數(shù)

1、操作方式:手動(dòng);

2、曝光模式:接觸式一次曝光;

3、光斑尺寸:Ф102mm,配置4"LED專用曝光頭,光源質(zhì)保期:1年;

4、紫外光中心波長(zhǎng):365nm;

5、基片厚度≤5mm。(需要分級(jí),每級(jí)級(jí)差1mm);

6、分辨率:1um(所需條件見后面附件1);

7、光的均勻性:≥97%(測(cè)量?jī)x器:光強(qiáng)計(jì);測(cè)量方法:逐點(diǎn)檢測(cè)法);

8、樣品尺寸:Φ100mm(標(biāo)配);

9、曝光強(qiáng)度:≤30mw/cm2,(此指標(biāo)用紫外光源I線365nm測(cè)量);

10、電源:?jiǎn)蜗郃C220V  50HZ ,功耗≤1.5KW;

11、潔凈空氣壓力:≥0.4MPa;

12、真空度:-0.07MPa~-0.09MPa;



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