G-25ZD6型高精密單面光刻機(jī)

一、主要用途

本設(shè)備是我公司專門針對(duì)各高校及科研單位對(duì)光刻機(jī)的使用特性研發(fā)的一種精密光刻機(jī)，它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。

LED曝光頭及部件圖

二、主要性能指標(biāo)

1、曝光類型：自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)，接近式單面曝光；

2、曝光面積：Ф150mm；

3、光照均勻性：≥96%（測(cè)量?jī)x器：光強(qiáng)計(jì)；測(cè)量方法：逐點(diǎn)檢測(cè)法）；

4、曝光強(qiáng)度：0～40mw/cm²可調(diào)（測(cè)量?jī)x器：光強(qiáng)計(jì)；測(cè)量方法：紫外線照度計(jì)測(cè)量）；

5、紫外光束角：≤3?；

6、紫外光中心波長(zhǎng)：365nm；

7、光源質(zhì)保期：1年；

8、采用電子快門；

9、曝光分辨率：2μm；

10、對(duì)準(zhǔn)范圍： X、Y ≤ ±1mm；Q≤±1°；

11、對(duì)準(zhǔn)精度：3.5μm；

12、套刻精度：3.5μm；

13、對(duì)位方式：圓點(diǎn)（?0.4mm）和圓環(huán)方式（?1.5mm,?1.8mm）；

14、分離量；0～100μm；

15、曝光方式：接觸式單面曝光；

16、裝片方式：手動(dòng)；

17、顯微系統(tǒng)：雙視場(chǎng)CCD系統(tǒng)，電子顯微鏡，雙物鏡距離可調(diào)范圍50mm～150mm，計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)，19″液晶監(jiān)視器；

18、掩模版尺寸：≤178×178mm；

19、基片尺寸：≤Φ150mm；

20、基片厚度：≤5 mm；因基片的厚度不同，制作承片臺(tái)時(shí)需要進(jìn)行分級(jí)處理，單獨(dú)設(shè)計(jì)制作，1mm為一個(gè)等級(jí)(基片厚度:0-5mm可分為五個(gè)等級(jí)：0-1mm,1-2mm,2-3mm,3-4mm,4-5mm)其中：我公司隨機(jī)配送厚度為0-1mm等級(jí)的承片臺(tái)，若用戶還需其余等級(jí)承片臺(tái)（訂貨時(shí)用戶須說明，費(fèi)用另議）。

21、曝光定時(shí)：0～999.9秒可調(diào)；

22、設(shè)備所需能源：

主機(jī)電源： 220V±10%   50HZ，1.5KW；

潔凈空氣≥0.4MPα；

真空：-0.07～－0.08MPα；

23、G-25ZD6型高精密光刻機(jī)的組成：

由LED紫外曝光頭、CCD顯微顯示系統(tǒng)、對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、電氣控制系統(tǒng)構(gòu)成；

24、附件如下：

主機(jī)附件：（出廠時(shí)安裝到機(jī)器上的標(biāo)準(zhǔn)配置，用戶有特殊要求需訂貨時(shí)提出）

（1）178×178mm掩版夾盤

（2）Φ150mm承片臺(tái)

（3）顯微鏡組成

（4）單筒顯微鏡二個(gè)

（5）兩個(gè)CCD

（6）視頻連接線

（7）計(jì)算機(jī)和19"液晶監(jiān)視器