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四川G-43E6型高精密單面光刻機(jī)

一 、設(shè)備概述:G—43E6型高精密單面光刻機(jī)是根據(jù)市場(chǎng)需求研發(fā)的產(chǎn)品,通常情況下為Φ6",對(duì)被光刻基片的外形、厚度要求較低…

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G-43E6
型高精密單面光刻機(jī)

一、設(shè)備概述

本設(shè)備是我公司根據(jù)市場(chǎng)需求研發(fā)的產(chǎn)品,通常情況下基片尺寸為:Φ6",對(duì)被光刻基片的外形、厚度要求較低,可對(duì)多種材料的基片進(jìn)行光刻。它特別適用進(jìn)行一次光刻的產(chǎn)品,可制作聲表面器件、可控硅、小液晶顯示器、傳感器、二極管、園光柵、編碼盤(pán)等。

二、主要技術(shù)參數(shù)

1、操作方式:手動(dòng);

2、曝光模式:接觸式曝光;

3、曝光面積曝光面積:150mm×150mm;

4、紫外光源:g線(436nm)和i線(365nm);

5、實(shí)現(xiàn)“真空密著”曝光,但基片厚度≤2mm;

6、分辨率:Φ100mm范圍內(nèi)≤2um;

7、曝光不均勻性:3%(Φ100mm范圍);5%(Φ150mm范圍);

8、曝光光源:350W汞燈(進(jìn)口);

9、曝光強(qiáng)度:≥5mW/cm2;

10、光源平行性:≤3.5°;

11、樣品尺寸:Φ150mm;



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