關(guān)于四川箱式真空鍍膜機(jī)產(chǎn)品介紹：

一、概述及特點(diǎn)

1.該鍍膜機(jī)適用于電子工業(yè)濺射各種膜，是開展各種金屬膜工藝研究的理想設(shè)備。

2.該鍍膜機(jī)廣泛應(yīng)用于微電子、濺射及光學(xué)成膜技術(shù)領(lǐng)域。

3.專用電源可有效防止靶中毒及打火現(xiàn)象

4.濺射室取消了傳統(tǒng)的鐘罩升降機(jī)構(gòu)，特別適合凈化間安裝，整機(jī)操作極為方便。

5.采用機(jī)電化一體設(shè)計(jì)，占地面積小，整體性強(qiáng)，外形整潔美觀。

二、主要技術(shù)參數(shù)

1.真空室內(nèi)徑： Φ530mm；

2.真空室高度： 550mm；

3.極限真空度： 3x10^-4Pa；  

4.恢復(fù)真空： 從排大氣到4x10^-3Pa≤15min (冷態(tài))；

5.工件夾具轉(zhuǎn)速： 3-30r.p.m  工轉(zhuǎn)為公轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)；

6.基片烘烤： 采用中心烘烤，管狀加熱器加熱，溫度250°C，可控可調(diào)；

7.工件盤形式： 頂部吊裝；

8.濺射方式： 直流濺射；

9.磁控靶數(shù)量： 矩形靶，3只。（鋁靶3件；鉻靶、鎳靶各1件）；

10.有效濺射面積： 吊裝工件平臺(tái)范圍內(nèi)；

11.分子泵： F-250型 1600L/S 北京泰岳恒；

12.直聯(lián)泵： BSV-90直聯(lián)泵；

13.電源： 三相四線制：220/380V,50Hz；

14.總功率： 約30Kw；

15.耗水： 約40L/min；

16.壓縮空氣： 0.6-0.8MPa；

17.水壓： ≥0.2Mpa；

18.總重量： ≈2T；

19.外形尺寸： 2680(寬)x1200(深)x1800(高)mm；

更多關(guān)于四川箱式真空鍍膜機(jī)的信息可以直接撥打網(wǎng)站上的咨詢電話和我們?nèi)〉寐?lián)系。