四川磁控濺射鍍膜機(jī)的產(chǎn)品介紹：

一、用途：

磁控濺射鍍膜設(shè)備主要用于在基片上鍍制金屬、半導(dǎo)體、電介質(zhì)、多元素化合物或混合物。利用濺射法可制備金屬膜、半導(dǎo)體膜、絕緣膜、硬質(zhì)膜、耐熱膜、耐腐蝕膜、超導(dǎo)膜、磁性膜、光學(xué)膜等各種特殊性能的薄膜。

二、主要技術(shù)指標(biāo)：

1.極限真空度：3.0×10^-4Pa（真空室內(nèi)安裝完全的條件下測試）。

2.恢復(fù)真空時間：大氣→4×10^-3Pa≤15min。

3.測試方法：

A.腔體內(nèi)應(yīng)清潔、無樣品、無鍍膜材料。

B.配正華數(shù)字復(fù)合真空計壹套（兩路低真空電阻規(guī)，一路高真空電離規(guī)），帶通訊接口。

C.低真空測量規(guī)：ZJ-52型電阻規(guī)（玻璃規(guī)），其測量范圍1×103 Pa～10^-1Pa。

D.高真空測量規(guī)：金屬規(guī)（電離規(guī)），其測量范圍10Pa～10^-5Pa。

E.測量規(guī)管加金屬保護(hù)套。

5.真空系統(tǒng)配置：A.分子泵F-250型（一臺）(抽速1600L/s,北京泰岳恒）。

6.真空閥門：高真空閥門、低真空閥門、預(yù)真空閥門、防喘流閥門均采用活塞式，氣缸驅(qū)動，氣缸采用電磁閥切換汽源，并安裝在散熱條件好，易于快速維修的位置。

7.放氣閥采用氣缸控制，設(shè)置在抽氣室頂部。

8.真空室內(nèi)密封圈全部采用氟橡膠，能承受高溫烘烤，各部分密封安全可靠。

9.真空系統(tǒng)管道采用不銹鋼波紋管連接，以減小震動。

10.所有的抽氣管道選用..不銹鋼材料，并進(jìn)行拋光處理。

11.低閥、預(yù)閥、防湍閥、放氣閥等采用304不銹耐酸鋼制造。

成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事四川真空泵,四川光刻機(jī),四川氫氣爐生產(chǎn)及銷售批發(fā)工作的企業(yè),咨詢電話:13908187709,028-85730519,擁有**的技術(shù)裝備和獨(dú)特的設(shè)計,具有豐富的專用設(shè)備裝配調(diào)試技術(shù)和經(jīng)驗。