


關(guān)于四川箱式真空鍍膜機(jī)產(chǎn)品介紹:
一、概述及特點(diǎn)
1.該鍍膜機(jī)適用于電子工業(yè)濺射各種膜,是開展各種金屬膜工藝研究的理想設(shè)備。
2.該鍍膜機(jī)廣泛應(yīng)用于微電子、濺射及光學(xué)成膜技術(shù)領(lǐng)域。
3.專用電源可有效防止靶中毒及打火現(xiàn)象
4.濺射室取消了傳統(tǒng)的鐘罩升降機(jī)構(gòu),特別適合凈化間安裝,整機(jī)操作極為方便。
5.采用機(jī)電化一體設(shè)計(jì),占地面積小,整體性強(qiáng),外形整潔美觀。
二、主要技術(shù)參數(shù)
1.真空室內(nèi)徑: Φ530mm;
2.真空室高度: 550mm;
3.極限真空度: 3x10-4Pa;
4.恢復(fù)真空: 從排大氣到4x10-3Pa≤15min (冷態(tài));
5.工件夾具轉(zhuǎn)速: 3-30r.p.m 工轉(zhuǎn)為公轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào);
6.基片烘烤: 采用中心烘烤,管狀加熱器加熱,溫度250°C,可控可調(diào);
7.工件盤形式: 頂部吊裝;
8.濺射方式: 直流濺射;
9.磁控靶數(shù)量: 矩形靶,3只。(鋁靶3件;鉻靶、鎳靶各1件);
10.有效濺射面積: 吊裝工件平臺(tái)范圍內(nèi);
11.分子泵: F-250型 1600L/S 北京泰岳恒;
12.直聯(lián)泵: BSV-90直聯(lián)泵;
13.電源: 三相四線制:220/380V,50Hz;
14.總功率: 約30Kw;
15.耗水: 約40L/min;
16.壓縮空氣: 0.6-0.8MPa;
17.水壓: ≥0.2Mpa;
18.總重量: ≈2T;
19.外形尺寸: 2680(寬)x1200(深)x1800(高)mm;
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