成都精密光刻機(jī)的主要用途和主要性能指標(biāo)：

一、 主要用途：

（1） 這是一臺(tái)雙面對(duì)準(zhǔn)單面曝光的光刻機(jī)；

（2） 這臺(tái)機(jī)器又能完成普通光刻機(jī)的任何工作；

（3） 同時(shí)又是一臺(tái)檢查雙面對(duì)準(zhǔn)精度的檢查儀；

二、 主要性能指標(biāo)：

1 、曝光類型：雙面對(duì)準(zhǔn)單面曝光；

2 、曝光面積：210mmX210mm；

3 、曝光強(qiáng)度：≤30mw/cm²，（測量儀器：光強(qiáng)計(jì)；測量方法：紫外線照度計(jì)測量）；

4 、曝光照度均勻性： ≥96%  (Φ208mm范圍內(nèi)）；紫外光束角：≤3?（測量儀器：光強(qiáng)計(jì)；測量方法：逐點(diǎn)檢測法。）；

5 、紫外光源：LED ，紫外光中心波長：365nm，光源質(zhì)保期：1 年；

6 、曝光模式：可以正反對(duì)準(zhǔn)，正面套刻曝光；

7 、曝光方式：密著曝光，可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光；

8 、曝光分辨率：≤3 μm  (Φ 208mm 范圍內(nèi)）；

9、對(duì)準(zhǔn)范圍：X、Y≤±3mm，Q ≤±3 ° , X,X 方向平移精度≤1um，Q 轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)精 度≤0.5 °，對(duì)準(zhǔn)精度：正面≤2 μm ；反面≤4 μm；

10 、載物臺(tái) x,y 平面移動(dòng)精度≤1um；

11、對(duì)準(zhǔn)方式：手動(dòng)；

12 、接觸－分離漂移：≤2 μm ；分離量；0～50μm 可調(diào)；

13 、具有三點(diǎn)自動(dòng)找平功能，找平精度≤3um；

14 、顯微系統(tǒng)：

1) 正面對(duì)準(zhǔn)采用雙視場 CCD 立式顯微鏡，總放大倍數(shù)觀察系統(tǒng)放大倍數(shù)為： 1.6 × 57=91  倍（小倍數(shù)），10×57=570  倍（大倍數(shù)），連續(xù)調(diào)節(jié)。兩個(gè)顯微鏡間距可以調(diào)節(jié)（通過模組調(diào)節(jié)）調(diào)整范圍 Y： -100～-30mm ，30～100mm  X： ±100mm；顯微鏡 X,Y 位置通過觸摸屏預(yù)先數(shù)字設(shè)置；

 2) 反面對(duì)準(zhǔn)采用雙視場 CCD 臥式顯微鏡。總放大倍數(shù)為 57-400 倍連續(xù)變焦，顯微鏡調(diào) 整范圍:  Y：-80～-30mm ，30～80mm  X：±3mm,Z≤3mm ，通過千分尺實(shí)現(xiàn)  移動(dòng)；

15 、配置掩模版架： 9 ″ ×9 ″；

16 、配置基片載物臺(tái)： φ8 ″；

17 、配有無油靜音真空泵和無油靜音空壓機(jī)；

18、尺寸和重量：

尺寸：機(jī)體 1300 mm（長） ×720 mm（寬） × 1900mm（高）；

重量：≤200Kg；

19 、G-33D8 型光刻機(jī)的組成：

由主機(jī)（含機(jī)體和工作臺(tái)），對(duì)準(zhǔn)用單筒顯微鏡，LED 紫外曝光頭組成；

20 、附件如下：

a. 主機(jī)附件：（出廠時(shí)安裝到機(jī)器上）；

1) 9" □型掩版夾盤。

用于Φ8"基片的真空夾持承片臺(tái)；

b. 顯微鏡組成；

(1)單筒顯微鏡二個(gè)；

(2)兩個(gè) CCD；

(3)視頻連接線；

(4)計(jì)算機(jī)和19"液晶監(jiān)視器；

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